真空炉炉体外部容易漏气的位置有：炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封、加热电极密封等。真空炉体内壁外表放气。真空炉室夹层（包括炉门夹层）及气体冷却系统的水管漏水。预抽阀的阀体内部漏气，充气组阀中充气阀（高真空气动碟阀）、补气阀、分压组阀（减压阀、微调阀、电磁阀）内部漏气。
真空炉漏气毛病维修的关键，是看能否精确地判别出毛病点（漏气位置），检查办法如下：依照压升率测试办法停止压升率检测后，假如真空炉炉膛内的真空度不断降落，且管路真空度坚持不降低，阐明真空炉炉膛有漏气点。此时，应该用氦质谱检漏仪对真空炉炉膛可能存在漏气点的位置停止检漏，着重检查加热电极、热电偶装置孔和热电偶自身、气体衔接法兰和充气阀门、炉门、压力表和压力传感器衔接处、真空规管衔接处等与外界有接口的；
关于真空气淬炉，还应检查热交流器有无走漏，通常内部循环设备的热交流器在设备的内部，难以检查，能够应用热交流器冷却水管的接口通入氦气的办法检漏。假如真空管路上的真空度很快降落，且真空室真空度坚持较好或者略有进步，则应该对真空管路和真空泵系统停止检漏。假如真空管路和真空室真空度都不断降低，还应检查真空阀。